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                  採用獨特金屬化潤濕處理製程,進行異質材接合(bonding),可避免傳統濺鍍金屬化之高成本,針對大尺寸靶材接合,將是最佳的選擇。同時配有高均溫性大型加熱板、大型平面度校正機、大型超音...

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