旋转靶有别于平面靶,使用率可达70~80%,成膜速度较快,另外还有回镀少、异常放电少与安定性高等优点。本公司可量产供应显示器、触控面板及节能玻璃产业所需的相关旋转靶材,包含高纯度铝靶、钼靶、铜靶、钛靶、银靶、镍合金靶、矽靶与氧化铌靶等;其中铝、钼靶已通过知名美商8.5代溅镀产线验证。另一方面随着面板厂靶材尺寸放大,本公司亦同步提升旋转靶接合技术因应客户需求,为国内第一家TFT-LCD产业用大尺寸旋转靶材制造厂。
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